FU.952故障代碼出現中智電氣伺服驅動器上，表示反向超程警告。反向超程警告的主要原因如下：

1、DI功能15：禁止正向驅動，端子邏輯有效

處理辦法如下：

1、檢查P03組DI端子是否設置了DI功能15；查看輸入信號監視(P0B-03)對應位的DI端子邏輯是否有效；檢查運行模式，確定安全的前提下，給負向指令或轉動電機，使“反向超程開關”端子邏輯變為無效。